Polovodiče
- + Hlavní oblasti
- +Elektrotechnické inženýrství (2)
- Radiokomunikace a kabelové systémy (0)
- Přístroje pro elektrické měření (0)
- Elektroakustika a ultrazvuk (0)
- Přístrojové transformátory (0)
- Elektronky a obrazovky (0)
- Kondenzátory a rezistory (0)
- Přístroje jaderné techniky (0)
- Kabely a vodiče pro telekomunikace (0)
- Polovodiče (1)
- Elektromechanické součástky (0)
- Piezoelektrické prvky (0)
- Magnetické součástky (0)
- Plošné spoje (0)
- Zdravotnické elektrické přístroje (0)
- Řízení procesů (1)
- Elektronická měřicí zařízení (0)
- Automatická řídicí zařízení (0)
- Bezpečnost záření a laserová zařízení (0)
- Poplachové systémy (0)
- Navigační přístroje (0)
- Fotovoltaické systémy (0)
- Zařízení informační technologie a zvukové, obrazové a audiovizuální zařízení a systémy (0)
- Vláknová optika (0)
- Automatizované konstruování (0)
- Elektrotechnické systémy povrchové dopravy (0)
- Letectví (0)
Oblast zaměření:
Polovodiče
Komise : IEC/TC 47
(Semiconductor devices)
Původce: ISO\IEC\CEN\CENELEC
K připomínkám do: 13.02.2026
This part of IEC 63567-1 proposes a method of measuring the transmittance of extreme ultraviolet (EUV) pellicle used for extreme ultraviolet lithography (EUVL) and provides guidelines on the conditions of the transmittance measurement instrument using EUV with a short wavelength and methods for calculating EUV transmittance.
The scope of this document applies to all types of membranes attached to the front side of a reflective mask (or reflective reticle) used in EUVL to physically protect the reflective mask from contaminant particles generated inside the chamber during EUV exposure.