Podrobnosti návrhu

Číslo:47F/336/CDV - IEC 62047-37 ED1
Zdroj:ISO\IEC\CEN\CENELEC
Komise:IEC/SC 47F
Název komise:Micro-electromechanical systems
Návrh uveřejněn:15.07.2019
K připomínkám do:11.09.2019
Oblast zaměření:Polovodiče
Contact email:cermak(at)agentura-cas.cz
Anotace:

This part of IEC 62047 specifies test methods for evaluating the durability of MEMS piezoelectric thin film materials under the environmental stress of temperature and humidity and under mechanical stress and strain, and test conditions for appropriate quality assessment. Specifically, this document specifies test methods and test conditions for measuring the durability of a DUT under temperature and humidity conditions and applied voltages. It further applies to evaluations of direct piezoelectric properties in piezoelectric thin films formed primarily on silicon substrates, i.e., piezoelectric thin films used like as acoustic sensor, cantilever type sensor.

This document does not cover reliability assessments, such as methods of predicting the lifetime of a piezoelectric thin film based on a Weibull distribution.

Tento dokument můžete připomínkovat po jednotlivých částech  - stačí u příslušné části dokumentu vyplnit formulář v souladu s pokyny a kliknout na ‚Odeslat připomínku‘.

Prosíme, nepoužívejte vulgární výrazy a nevyužívejte tento prostor pro umisťování reklamy.