Podrobnosti návrhu

Semiconductor devices - Performance evaluation of semiconductor processing components and inspection equipment - Part 1: Transmittance evaluation method of EUV pellicle

Číslo:47/2976/CDV - IEC 63567-1 ED1

Komise:IEC/TC 47

K připomínkám do:13.02.2026

Tento návrh normy již není k dispozici. Připomínky byly odeslány k posouzení příslušné technické komisi nebo zpracovateli normy.